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  详细情况:三丰工具测量显微镜 378系列-半导体检测用显微镜FS-70  

 


378系列--半导体检测用显微镜FS-70的特点
1.此光学系统最初是为畅销的FS60型(后升为FS70型)而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。   
2.FS70L支持3种YAG激光波长(1064nm,532nm,355nm),FS70L4支持2种波长(532nm,266nm),可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而,使用三丰量具对显微镜的激光穖的性能和安全性,三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。    
3.FS70Z的标准功能有:亮视场,微分干涉对比(DIC)和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。     4.使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。    
5.极易操作的设计:FS70采用正像光学系统(视场中的像与样品方向相同)并用橡胶把手加大微调手轮。    
  
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的性能参数


型号
 


FS-70
 


FS70-TH
 


FS70Z
 


FS70Z-TH
 


FS70L
 


FS70L-TH
 


FS70L4
 


JS70L4-TH


货号
 


378-184-1
 


378-184-3
 


378-185-1
 


378-185-3
 


378-186-1
 


378-186-3
 


378-187-1
 


378-187-3


短基座型号
 


FS70-S
 


FS70-THS
 


FS70Z-S
 


FS70Z-THS
 


FS70L-S
 


FS70L-THS
 


FS70L4-S
 


FS70L4-THS


货号
 


378-184-2
 


378-184-4
 


378-185-2
 


378-185-4
 


378-186-2
 


378-186-4
 


378-187-2
 


378-187-4


对焦
 


50mm行程,同心焦距粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)手轮(左、右0)


图像
 


正像


瞳距
 


Siedentopf型、调节范围


视场数
 


24


俯角
 


 
 


0°至20°
 


 
 


0°至20°
 


 
 


0°至20°
 


 
 


0°至20°


透过率
 


50/50
 


100/0或0/100
 


50/50
 


100/0或0/100
 


100/0或0/100
 


100/0或0/100
 


100/0或0/100
 


100/0或0/100


管镜头
 


 
 


内置激光射线滤光片


适用激光
 



 



 



 


2×zoom
 



 



 



 



适用激光
 


 
 


 
 


 
 


 
 


1064/532/355mm
 


532/355mm


相机端口
 


C-mount(使用适配器B选件)
 


使用带有电视端口的激光片
 


C-mount插座(带有绿色滤光片转换开关)


照明系统、可选
 


亮视场反射照明(科勒照明、带光圈) 12V 100W光纤、无极亮度调节、光导长度:1.5m、功耗150W


物镜、可选
 


M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo


物镜、可选
 


 
 


 
 


 
 


 
 


M/LCD Plan NIR


M/L CD Plan NUV
 


M Plan UV
 


M Plan UV


载重
 


14.5kg
 


13.6kg
 


14.1kg
 


13.2kg
 


14.5kg
 


13.6kg
 


14.1kg
 


13.2kg


重量(主机)
 


6.1kg
 


7.1kg
 


6.6kg
 


7.5kg
 


6.1kg
 


7.1kg
 


6.6kg
 


7.5kg



378系列--半导体检测用显微镜FS-70的技术参数                                
对焦                                
方法:有同心粗调和微调手轮(左和右)    
范围:50mm测量范围,微调0.1mm/rev同心粗调3.8mm/rev    
三目镜筒图像:正像    
瞳距:Siedentopf型    
调节范围:51-76mm    
视场数:24    
俯角:0°-20°(仅用于-TH,THS型号)    
照明系统:亮视场反射照明(科勒照明、带光圈)    
光源:12V100W光纤、无极亮度调节 ),光导长度1.5m、功耗150W    
物镜(选件):M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo


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