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详细情况：日立扫描电子显微镜 → 配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型的特点
1.最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型技术参数
二次电子分辨率：1.2nm @ 30KV,3.0nm @ 1KV,4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率：3.5nm @ 30KV
放大倍率：10~600,000（输出尺寸127x96mm）
电子枪类型：热场发射
探针电率：1pA~200nA
加速电压：0.5~30KV
物镜光阑：自清洁、4孔可动式
束闸：电磁式
样品台：电脑控制的5轴优中心马达样品台
X：0~110mm
Y：0~110mm
Z：4~40mm
T：-5°~+70°
R：360°
最大样品尺寸：直径150mm x 高40mm
探头：二次电子探头
背散射电子探头

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