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详细情况：日立扫描电子显微镜 → 日立热场发射扫描电镜SU70

日立热场发射扫描电镜SU70型采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。

一、日立热场发射扫描电镜SU70型的特点
1.100nA的大探针电流
    新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
    预留了多种接口，可以安装以下附件进行
    分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
    温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
    观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
    已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

二、日立热场发射扫描电镜SU70型的技术规格
1. 二次电子图象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
2. 放大倍数
低放大倍数模式20-2,000x
高放大倍数模式100-800,000x
3. 电子光学
电子枪    ZrO/W 肖特基电子枪
电流      1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统 3级电磁线圈系统
物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调
4. 样品台
样品台控制 5轴马达控制
移动范围
X     0-110mm
Y     0-110mm
z     1.5-40mm
T     -5O-+700
R     360O
样品尺寸直径150mm(标准)；(最大)    直径200mm(可选)
5. 探测器
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X射线能谱仪(可选)
X射线波谱仪(可选)
EBSP探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)

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