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详细情况：日立扫描电子显微镜 → 日立扫描电子显微镜SU1510

日立扫描电子显微镜SU1510型的主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
一、日立扫描电子显微镜SU1510型的特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

二、日立扫描电子显微镜SU1510型的技术规格

项目

内容

二次电子分辨率

3.0nm（高真空，30kV）

背散射电子分辨率

4.0nm(低真空：6Pa，30kV）

倍率

5～300,000倍

加速電圧

0.3～30 kV

样品台

X ：0～80 mm
Y ：0～40 mm
Z ：5～50 mm
T ：-20°～ 90°
R：360°

样品台控制

手动（可选：2轴马达）

最大载入样品尺寸

直径：153 mm

最大观察范围

直径：126 mm（XYR并用）

最大样品高度

60 mm（WD=15 mm）

低真空范围

6-270Pa(从菜单设定)

灯丝

预对中钨灯丝

物镜光阑

4孔可变光阑

枪偏压

固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压

检测器

二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器

EDX分析位置

WD=15,TOA=35°

真空系统

分子泵1台，机械泵1台

安全措施

停电，漏电，自动保护

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