产品编号: BHKSK-TJ001
产品型号: ET200
所属类别: 测量/计量仪器 - 台阶仪
所属品牌: 日本Kosaka
所属用途: 固体表面测量
应用领域: 不限
产品特性: 日本KOSAKA台阶仪ET200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供
日本KOSAKA台阶仪ET200介绍
日本KOSAKA台阶仪ET200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
日本KOSAKA台阶仪ET200产品特点
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
日本KOSAKA台阶仪ET200技术参数
型号
ET200
最大样品尺寸
φ160x48mm
样品台
尺寸
φ160
倾斜度
±2°（X,Y手动）
承重
2Kg
检出器
触针力
10μN-500μN（1mg-50mg）
范围
600μm（0.1nm分辨率）
驱动
直动式（差动变压器）
触针
R2μm 顶角60°
X轴
最大测长
100mm
直线度
0.02μm/100mm
速度
0.005-20mm/s
重复性
±5μm（定位）
Y轴
最大测长
25mm/手动
Z轴
最大测长
50mm
放大倍数
垂直
50-2000000
水平
1-10000
监控系统
摄像装置
1/3 inch CCD
监视装置
视频捕捉板
移动方法
手动
辅助功能
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性
1σ1nm
电源
AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸
W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）
日本KOSOKA台阶仪ET200主要应用—膜厚测量
前制程机台（如曝光机、溅镀机、蚀刻机）best recipe 找寻。例如：PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
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